硅是重要的半导体质料 山东新闻联播德州限行

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齐鲁网·闪电新闻9月2日讯 山东首根半导体级八英寸直拉硅单晶日前在德州拉制乐成,将推动山东半导体工业实现新突破。

历时70多个小时,半导体级八英寸直拉硅单晶乐成下线,这标志着有研集成电路用大尺寸硅质料项目即将进入量产阶段。

山东有研集成电路用大尺寸硅质料规模化生产项目总工程师肖清华说:“我们这次是一次性乐成,整个历程印证了我们厂房建设到达了一个很是好的水准。”

硅是重要的半导体质料。拉制乐成的单晶硅棒再经由切片、倒角、抛光等工序,被制成硅抛光片,可用于卫星、电脑、手机等领域,是集成电路工业链中重要的基础质料。

【山东新闻联播】半导体级八英寸直拉硅单晶实现“德州造”

山东有研集成电路用大尺寸硅质料规模化生产项目副总司理刘斌说:“在此之前咱们国家所有的8英寸硅抛光片,基本上是从美国、日本、韩国、德国这些国家入口,从顺利实施,将进一步扩大咱们国家的自主的8英寸硅抛光片的供应。”

硅单晶的拉制是一个极其庞大的历程,缺陷尺度要控制在纳米级,除了工艺技术要细密,项目还对能源供应的稳定性要求严苛。为此,当地专门为企业建设了35千伏专用变电站,实行双回路供电。

德州经济技术开发区科技局局长赵兴先容说:“组织供水供电等部门建立专门的事情协调小组,建设了天天的早餐例会制度,天天使用早餐时间相同情况,相识问题,做到问题早发现、早相同、早协调、早解决,确保调试生产的顺利举行。”

据相识,山东有研集成电路用大尺寸硅质料项目一期总投资18亿元,主要生产6-8英寸硅片,年产量450万片。二期年产360万片12英寸硅片项目计划明年开工建设,建成后将成为我国北方最大的半导体质料基地。

闪电新闻记者 周树茂 德州台 李晓阳 刘炳慧 通讯员 赵庆川 编辑 刘向阳

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